浙大发布三大光学神器:为光刻机装上慧眼和巧手

发表于2026-04-15 |来源:光行天下 |作者:- |点击量:2
摘要
2026 年 4 月 10 日,浙大发布高亮度极紫外阿秒光源、桌面式极紫外光显微镜、万通道 3D 纳米激光直写光刻机三大光学成果,达国际领先,可支撑国产光刻工艺良率提升,加速高端芯片自主化。
关键词:极紫外光学光刻机纳米光刻

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