首款半导体后道工艺的光刻系统!

发表于2025-07-28 |来源:智云仪器网 |作者:讯锋 |点击量:22
摘要
2025 年7月16日,日本尼康宣布推出其首款面向半导体后道工艺的光刻系统 DSP-100,并于当月起接受订单,预计2026财年内上市。
关键词:光刻机空间光调制器

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