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首款半导体后道工艺的光刻系统!
发表于2025-07-28
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来源:智云仪器网
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作者:讯锋
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点击量:22
摘要
2025 年7月16日,日本尼康宣布推出其首款面向半导体后道工艺的光刻系统 DSP-100,并于当月起接受订单,预计2026财年内上市。
关键词:
光刻机
空间光调制器
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