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4200-SMU 是适配 4200A-SCS 半导体参数分析仪的插拔式中等功率 SMU 源测模块，集成电压 / 电流双输出、同步采集测量一体功能，兼顾百伏耐压与 fA 级微弱电流检测能力。模块自带多级量程自动切换，标配低噪声屏蔽输出接口，可选配 4200-PA 远程前置放大器，电流分辨率下探至 0.1fA，适配纳米器件、MOS 栅极漏电流等高阻抗测试场景。
参数详情
功率上限：2.1W
电压规格：±210V，4 档量程 200mV~210V
电压精度：源输出 0.02%，测量 0.01%
电压分辨率：0.1μV~100μV
电流规格：±100mA，7 档量程 100nA~100mA
电流精度：源输出 0.04%，测量 0.03%
基础电流分辨率：0.1pA~100pA
选配 4200-PA：新增 5 档微电流量程，分辨率 0.1fA
输出模式：恒压源、恒流源、同步测压测流
测量功能：I-V 扫描、I-t 时序漏流监测、击穿电压测试
半导体器件研发：MOSFET、BJT、二极管、III-V 射频器件输出 / 转移特性测试
存储芯片表征：Flash、RRAM、FeRAM 阻变存储器读写、漏电流、耐久老化测试
纳米材料实验：石墨烯、碳纳米管、纳米线 FET 微弱电导与栅漏电流测量
光电器件测试：LED、OLED、光电探测器、光伏电池 IV 特性与暗电流检测
介质与无源元件：电容绝缘漏流、薄膜电阻、MEMS 器件静态电学表征
晶圆可靠性测试：NBTI/PBTI 应力老化、TDDB 介质击穿、器件失效分析
生物传感器件：BioFET 生物传感器微弱电流时序检测
高校微电子实验室：晶体管、半导体材料基础 IV 特性教学表征