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是适配 VHX 系列超景深数码显微镜的高精度 XY 二维坐标测量载物台（衍生型号 VH-M100E），需要搭配 VHX 主机、显微镜头整套使用。依靠光栅坐标定位，实现视场外大范围工件尺寸测量；支持导航视图功能，低倍全景定位 + 高倍精准测量联动，解决单视野无法测量大尺寸样品的痛点。
参数详情
行程范围：X 轴、Y 轴各 100 mm
最大载重：3 kg
显示分辨率：0.1 μm
移动精度：4+0.02L (μm，L 为测量长度)
供电规格：AC 100～240 V，功耗 50 VA
适配主机：VHX-500、VHX-600、VHX-900、VHX-1000 系列显微系统
核心功能：坐标式二维尺寸测量、全景导航视图、多视场拼接测量
工作环境：5～40℃，湿度 35%～80% RH（无凝露）
电子行业：PCB 线路、连接器引脚、大尺寸电路板几何尺寸检测
精密五金：冲压零件、螺纹、机加工零部件轮廓测量
半导体与封装：晶圆、元器件引脚间距、封装轮廓尺寸检测
塑胶注塑：大面积壳体毛刺、孔径、间距尺寸质检
失效分析：大面积样品多点尺寸采集、裂纹长度测量