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是基恩士适配 VHX 系列超景深显微镜的高精度 XY 电动二维坐标测量载物台(国际海外版,国内版 VH-M100),必须搭配 VHX 主机成套使用。依靠光栅定位实现大范围样品精密测量,支持全景导航视图:低倍全景定位、高倍精准测量联动,可完成超出单视野范围工件的尺寸拼接测量。
参数详情
行程范围:X 轴、Y 轴各 100 mm
最大载重:3 kg
显示分辨率:0.1 μm
移动精度:4+0.02L (μm,L 代表测量长度,单位 mm)
整机重量:18 kg
供电规格:AC 100~240V,50/60Hz,功耗 50 VA
适配主机:VHX-500F/500FE、VHX-600/600K、VHX-900、VHX-1000、VHX-1020 系列
核心功能:XY 坐标二维尺寸测量、全景导航拼接、多点尺寸采集、大范围样品轮廓测量
工作环境:5~40℃,湿度 35%~80% RH(无凝露)
电子制造:PCB 线路、连接器引脚、大面积电路板间距、孔径测量
精密五金:冲压件、螺纹、机加工零部件轮廓几何尺寸检测
半导体封装:晶圆、元器件引脚间距、封装外形尺寸测量
塑胶注塑:壳体毛刺、多点孔径、长距离尺寸质检
失效分析:大面积样品裂纹长度、多点微观尺寸采集
