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属于基恩士 VK-9700 GenerationII 系列彩色 3D 激光扫描共聚焦显微系统,搭载 408nm 紫光激光光源,融合激光共聚焦扫描与彩色光学观测能力,无需样品真空预处理,实现非接触式三维形貌成像、粗糙度检测与高低差定量测量。设备可同步获取彩色实景图像与高精度 3D 轮廓数据,兼具光学显微镜易用性与轮廓仪测量能力。
参数详情
激光光源:408nm 紫光激光
最大放大倍率:18000×
Z 轴高度分辨率:1nm
高度测量范围:0~7mm
高度显示分辨率:0.001μm
标配物镜:10×、20×、50×、150× 长工作距离物镜
核心功能:彩色图像观测、3D 形貌重构、剖面分析、表面粗糙度检测、膜厚测量、ISO 标准粗糙度数据分析
整机重量:测量机头约 10kg,整套系统约 26kg
供电规格:AC100~240V,50/60Hz,最大 400VA
配套系统:配套专用控制软件、工控工作站,可选配电动 XY 载物台
工作环境:温度 5~40℃,湿度 35%~80% RH(无凝露)
半导体行业:芯片封装轮廓、焊球形貌、晶圆表面缺陷、栅线高宽比检测
精密加工:机加工表面粗糙度、刀具磨损、微小毛刺、螺纹形貌测量
材料科研:涂层断面、薄膜厚度、复合材料微观形貌、金相表面观测
电子制造:PCB 线路、连接器引脚、焊点三维尺寸、电镀表面瑕疵分析
新能源行业:电池极片、光伏硅片表面腐蚀形貌、微观尺寸检测
汽车零部件:压铸表面气孔、密封件微观轮廓、焊接截面失效分析
