nanoIR3 融合原子力显微镜与光热 AFM-IR 纳米红外技术，突破红外衍射极限，达成 10nm 级别空间分辨率化学成像，同步采集样品形貌、化学组分、力学与热学参数，共振增强模式可检测单分子层样品，多用于纳米界面表征、半导体微观分析、高分子材料检测，符合科研平台高精度表征使用标准。

参数详情

红外光谱范围：QCL 激光 800–2700cm⁻¹，OPO 激光 2710–3600cm⁻¹

光谱分辨率：QCL 优于 1cm⁻¹，OPO 优于 4cm⁻¹

化学成像分辨率：≤10nm

AFM 扫描范围：XY 50μm×50μm，Z 轴≥6μm

最大样品尺寸：直径 25mm

检测灵敏度：可识别单分子有机薄膜层

单点光谱耗时：＜3s

内置模式：共振增强 AFM-IR、敲击式 AFM-IR、高速化学成像

选配温控区间：-20℃~120℃原位冷热台、液相测试模块