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一：产品参数
1． 产品名称：等离子清洗机
2． 产品型号：KT-Z5KQX
3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan
4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
中频等离子清洗机的工作频率为40KHz，该清洗机内置不锈钢腔体,容积为5L 采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定，真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程、作为一种精密干法清洗设备 主要应用于半导体,镀膜工艺、PCB制程，元器件封装前处理、COG前、真空电子，连接器与继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学样品清洗，教学和实验等。
三：主要技术要求
| 1：供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
| 2：整机功率 | ≤1200W（含真空泵） |
| 3：清洗功率 | 5-300W可调 |
| 4：清洗频率 | 40KHz |
| 5: 清洗温度 | ＜80℃ |
| 6：耦合方式 | 电容耦合（ccp) |
| 7：清洗真空度 | ≤50Pa |
| 8：腔体容积 | 5L(内径Ф152mmx深度280mm) |
| 9：观察窗内径 | Φ70 |
| 10：气体流量 | 双进气通道0—50ml/min（质量流量计） |
| 11：真空测量 | 电阻式真空计（测量范围1E5Pa到1E-1Pa） |
| 12：流量控制 | 精密针阀控制 |
| 13：控制方式 | 7寸人机界面全自动控制 |
| 14：产品重量 | 约21KG |
| 15：冷却方式 | 强制风冷 |
| 16：主要配件 | 等离子清洗机主机1台 样品托盘 电源线 合格证 说明书 保修卡各一个 |
| 可选配置 | ①机械真空泵抽速4m³/h |
| ②涡旋无油真空泵10m³/h |