OLS5000 是奥林巴斯新一代工业型激光扫描共聚焦显微镜，搭载 405nm 紫激光共聚焦光学架构，主打非接触式三维形貌观测与精密计量，区别于生物荧光共聚焦机型，依靠反射式激光层析成像，无需样品导电镀膜，即可完成微观形貌成像、粗糙度、台阶高度、体积量化检测，扫描效率为上代机型 4 倍，适配半导体、精密模具、汽车零部件、材料科学质检与研发，是工业微观三维测量主流机型。

参数详情

激光光源：405nm 紫光半导体激光

平面分辨率：0.12μm

Z 轴高度分辨率：0.5nm，高度精度 0.15+L/100μm

最大可测倾角：87.5° 陡峭坡面完整成像

电动载物台行程：100mm×100mm，选配扩展支架可放置最高 210mm 工件

物镜配置：5×、10×、20× 超长工作距离、50× 长工作距离、100× 专用激光物镜

扫描规格：最高 4096×4096 4K 全域扫描