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OLS3100 为工业级激光扫描共聚焦显微镜，搭载 408nm 紫色激光专用光路，依托 MEMS 高速扫描技术实现非接触式三维形貌观测与尺寸测量。可同步获取彩色光学图像与共聚焦 3D 轮廓数据，支持明场、激光共聚焦、DIC 微分干涉多种观测模式；配备电动物镜转盘、闭环高精度 Z 轴，自动防碰撞保护，支持大视场图像拼接，无需样品导电处理，适合各类硬质材料表面微观形貌、粗糙度、台阶高度精准检测，广泛用于工业质控与材料科研。
参数详情
激发光源：408nm 紫色半导体激光器
XY 平面分辨率：0.12 μm
Z 轴高度分辨率：0.01 μm，最小步进 0.005 μm
总放大倍率：120×～14400×
标配物镜：5×、10×、20×、50×、100× 专用复消色差物镜
光学变焦：1×～6× 连续可调
载物台：电动 XY 平台，行程 10mm，支持自动拼接成像
观测模式：明场、激光共聚焦、DIC 微分干涉
成像像素：最高 2560×2560
可选配置：大行程电动载物台、防振平台、自动化测量程序
测量功能：粗糙度、线宽、台阶高度、面积、体积、轮廓剖面分析
软件平台：LEXT 专业 3D 测量分析软件
半导体晶圆、PCB 线路、微结构元器件形貌与尺寸检测
金属材料金相组织、涂层、腐蚀界面微观表征
陶瓷、玻璃、薄膜、复合材料表面粗糙度与台阶测量
锂电池极片、隔膜、粉体微观形貌观测
精密模具、MEMS 微器件、光学元件缺陷检测
高校材料、机械、微电子实验室微观形貌表征项目