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BX3M 系列为奥林巴斯模块化工业正置显微镜平台(主流型号 BX53M),搭载 UIS2 无限远校正光学系统,面向材料、半导体工业检测。支持反射光、透反射一体化配置,兼容明场、暗场、DIC 微分干涉、偏光、MIX 明暗场混合、荧光等多种观测模式;整机高度模块化,支持编码物镜转盘、电动光路组件,可外接数字相机,搭配 Stream/PRECiV 图像分析软件,完成图像采集、尺寸测量、景深合成、全景拼接,适配金属金相、半导体晶圆、复合材料微观缺陷检测。
参数详情
光学系统:UIS2 无限远校正光学系统
照明方式:反射 LED / 卤素落射照明;可选透射柯勒照明
物镜转盘:5 孔 / 6 孔手动 / 编码电动转换器
目镜视场:FN22 标准视场,可选 FN26.5 超宽视场
标配物镜:5×、10×、20×、50×、100× 金属专用平场物镜
载物台:大行程 XY 机械载物台,支持晶圆夹具拓展
聚焦机构:粗微动同轴调节,带粗调限位、张力可调
观测模式:明场 BF、暗场 DF、微分干涉 DIC、正交偏光 POL、MIX 混合成像、可选荧光 FL
可选配置:三目摄像筒、电动 XY 载物台、长工作距离聚光镜、红外模块、显微相机、防振台
软件平台:PRECiV / Stream 图像采集与测量分析软件
通讯接口:USB、LAN(相机组件)
钢铁、有色金属金相组织观察、晶粒评级、失效分析
半导体晶圆、PCB、芯片表面缺陷、污染物、线路检查
锂电池极片、薄膜、涂层微观形貌与界面观测
陶瓷、高分子、复合材料、矿物岩石偏光分析
精密零部件、光学元件表面划痕、杂质显微质检
高校材料学院、第三方失效分析实验室、工厂品质管控项目
