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KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高400℃。低温-190°C。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－25mm；z方向调节范围：0－25mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
三：主要技术要求
1． 腔体材质：304不锈钢
2． 上盖开启：铰链侧开
3． 加热台材质：304不锈钢
4． 内腔体尺寸：φ160x90mm
5． 观察窗尺寸：Φ70mm
6． 加热台尺寸：φ55×55mm
7． 观察窗热台间距：75mm
8． 加热台温度： -196℃-400℃
9． 加热台温控误差： ±1℃
10． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温10℃/min 最大值
11． 温度显示：7寸人机界面
12． 真空度： 机械泵≤5Pa 分子泵≤10-3Pa
13． 允许正压： ≤0.01MPa
14． 真空抽气口： KF25真空法兰
15． 气体进气口： 3mm-6mm卡套接头
16． 电学性能： 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V 漏电流 ≤100fA
17． 探针数量： 4探针（可选购5探针）
18． 探针材质： 镀金钨针
19． 探针尖： 10μm/50μm
20． X轴移动行程： 30mm ±15mm
21． X轴控制精度：≤0.01mm
22． Y轴移动行程：25mm ±12.5mm
23． Y轴控制精度：≤0.01mm
24． Z轴移动行程：25mm ±12.5mm
25． Z轴控制精度：≤0.01mm