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产品描述
HP 4156B 是一款精密的半导体参数分析仪,专为半导体器件特性的测量与分析而打造。它将数字扫描参数分析、可靠性测试、故障分析以及自动化进料检验等多种功能集于一身。该仪器由微机处理器智能控制,融合了先进的模拟与数字电路技术,可在半导体材料评估、器件特性表征、成品检测及失效分析等环节发挥关键作用,助力提升半导体产品质量 。
主要特点
- 高分辨率与宽量程:电流测量范围从 1fA 至 1A,偏移精度可达 20fa;电压测量范围为 1μV 至 200V,能够满足不同类型半导体器件在各种工况下的参数测量需求 。
- 自动化 I-V 扫描:支持直流或脉冲模式下的全自动 I-V 扫描测量,且系统可扩展至 6 个源测量单元(SMUs),极大地提升了测试效率与灵活性 。
- 同步应力 / 测量功能:配备两个高压脉冲发生器单元(±40V),可实现同步应力施加与测量,适用于如热载流子注入、闪存 EEPROM 测试等可靠性评估的应力 - 测量循环测试 。
- 时域测量能力:在时域测量方面,时间间隔可在 60μs 至可变区间内调整,最多可采集 10,001 个数据点,有助于分析器件在不同时间尺度下的性能变化 。
- 操作简便:具备类似曲线示踪仪的旋钮扫描功能,操作人员可通过旋转前面板上的旋钮快速执行扫描测量;同时,仪器还提供自动分析功能,测量完成后能自动将标记和线条移至所需位置,并显示期望的计算结果 。
失效分析、半导体器件测试、自动化测试、可靠性测试
