- 产品详情
- 在线询价
- 应用领域
产品描述：
安捷伦 5517C 是一款高精度激光头，现属于是德科技（Keysight）的产品线，主要用于基于 VME 和 PC 的激光干涉仪系统。5517C 是一种二级氦氖激光源，提供波长为 633nm 的高稳定、精确的光源，用于精密双频干涉测量。它有多种塞曼分裂频率、光束尺寸、功率水平和特殊选件可供选择。例如，选件 009 可提供 9mm 的光束直径，用于三轴干涉仪，允许更大的测量角度范围。其标准光束直径为 6mm，最小输出功率为 180μW，还有输出功率更高的 H01 选件。
产品特点：
波长稳定性高：1 小时真空波长稳定性为 2ppb，使用寿命内为 20ppb。
波长精度高：标准波长精度为 ±0.1ppm，可选校准可将精度提高到 ±0.02ppm。
可靠性强：平均故障间隔时间（MTBF）大于 50,000 小时。
- 半导体制造：用于半导体光刻等工艺中，对晶圆的光刻步进、扫描等运动进行高精度测量和控制，确保芯片制造的精度。
- 平板显示：在平板显示器的制造过程中，可用于测量玻璃基板的平整度、薄膜沉积的厚度均匀性等，保证显示面板的质量。
- 精密机械加工：适用于精密机械零件的加工精度检测，如测量零件的尺寸、形状误差，以及机床的定位精度、重复定位精度等。
- 科学研究：在物理学、材料科学和纳米技术等研究领域，可用于提供准确的表面分析数据，如测量材料表面的微观形貌、薄膜的厚度变化等。