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ET-R101FS型激光尘埃粒子计数器（在线）
品牌：etiedt奕泰净科
一、概述：
ET-R101FS型激光尘埃粒子计数器,是苏州奕泰环境科技有限公司在线监测系统的产品之一。检测最小粒径档可达0.1μm,可检测ISO7-ISO1的洁净环境,采样流量2.83L/min,专为半导体行业高精度洁净环境检测设计,突破传统精度局限，精准捕捉光刻胶挥发,设备磨损产生的亚微米污染颗粒,满足纳米制程对ISO1级洁净度的严苛要求。仪器具有检测精度高,人机界面友好,功能丰富,操作简单。
本产品可广泛应用于半导体、电子、光学、新能源、精密机械，化学、医药卫生、生物制品、航空航天，等部门。
二、特点：
◆304不锈钢壳体（可定制航空铝材）
◆5.0超大高清彩色触控屏，操作简单
◆最小检测粒径0.1μm，八通道
◆约500万条数据存储+USB数据导出+云端互联
◆支持SCADA/MES系统对接
◆ESD安全智能电源管理系统
◆ISO 14644-1洁净度等级报告自动生成
◆主动流量控制PID自动调节
◆防爆需求定制，防爆仅针对于外壳防爆，具体根据客户需求进行一对一定制。
三、性能：
◆采样流量：2.83L/min ±5% （0.1 CFM）
◆粒径分布误差；国优±20%FS
◆示值浓度误差；国优±20%FS
◆自净时间；国优≤8min
◆重复性相对误差；国优≤8%FS
◆采样浓度，35000颗/升
◆至少5，000，000条采样数据存储
四、应用：
半导体洁净厂房检测；
晶圆封装产品线监测；
光刻产线监测；
精密光学；
新能源；
航空航天；
五、技术参数：
| 可选采样流量 | 2.83L/min |
| 粒子粒径分档 | 八通道：0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.5μm, 1.0μm, 5.0μm |
| 激光光源 | 长寿命的激光二极管，寿命＞35,000小时 |
| 采样浓度 | 1000,000个/立方英尺 |
| 采样模式 | 连续采样+实时计数、间隔采样、累计计数 |
| 计数效率 | 50%@0.1μm；100%@＞0.15μm符合ISO21501-4 |
| 采样延时 | 用户自设定 |
| 采样间隔 | 用户自设定 |
| 通讯协议 | Modbus |
| 通讯方式 | RS485、Internet可选WIFI/LORA、4G无线通讯 |
| 数据内存容量 | 约500万组测量数据，可查询，导出 |
| 屏幕显示 | 5.0彩色高清触摸屏 |
| 打印方式 | 在线款不支持 |
| 电 源 | DC12V（9-28VDC）输出功率不低于12V3A |
| 参考标准 | ISO 21501-4、GBT29024.4-2017、JJF1190-2008 |
| 数据通讯接口 | USB（直接导出或IOT在线监测系统查看），RS485、RJ45 |
| 环 境 | 使用环境：10∽40℃ 相对湿度 20∽95%RH |
| 储存环境：-20℃∽45℃ 相对湿度0∽95%RH | |
| 大气压力：86—106kPa | |
| 标准配件 | 等动力采样头，采样头软管，自净过滤器，使用说明书，原厂校准报告，合格证等 |
| 外形尺寸 | 宽220mm×高162mm×深130mm（不含采样口、报警灯） |
| 材 质 | 304不锈钢 |
| 重 量 | 2.8Kg |
六、etiedt奕泰净科：
苏州奕泰环境科技有限公司国产洁净环境检测仪器智能化创新应用专业前沿企业；
进口仪器国产化替代品牌新势力；
国内净化品牌服务商，净化优质服务商；
洁净微环境智能监测仪器全套解决方案专业企业
半导体洁净环境检测，奕泰净科E系列激光尘埃粒子计数器检测等级可满足十级至三十万级环境检测；
在线0.1μm尘埃粒子计数器在线监测系统；
在线0.1μm尘埃粒子计数器远程环境在线监测系统
半导体洁净厂房检测；
晶圆封装产品线监测；
光刻产线监测；
精密光学；
新能源；
航空航天；