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ET-R01F/FS型激光尘埃粒子计数器(在线)
品牌:etiedt奕泰净科

一、概述:
ET-R101FS型激光尘埃粒子计数器,是苏州奕泰环境科技有限公司在线监测系统的产品之一。
ET-R101FS是一款基于激光散射原理的多通道粒子计数传感器,可准确测量包含0.3μm,、0.5μm、 1μm、3μm、5μm、10μm 行业通用的6种粒径。通过标准RS485接口和Modbus-RTU协议,将数据实时传输至各种智能终端,减少人为参与,实现无人化智能监测。在多种无尘场合,实现7*24小时全时段的连续实时监测,降低风险,减少成本。
ET-R101FS拥有更高的测量精度和粒径分辨率,拥有更强的抵御湿度影响的能力。ET-R101FS粒子计数传感器采用工业级激光器与感光部件,结合最新一代光散射颗粒物监测技术,精心调校的光学和气路结构,以及全新一代高频弱信号处理电路和高精度粒子识别算法,更准确的测量各种有洁净度要求的环境粒子浓度。
本产品可广泛应用于半导体、电子、光学、新能源、精密机械,化学、医药卫生、生物制品、航空航天,等部门。
二、特点:
l 数据准确:单颗粒激光散射原理,工业级激光光源。计数效率高,重复性和一致性好。
l 粒径范围:粒径范围0.3~10μm,保证计数效率同时,单台传感器覆盖六通道。
l 可靠性高:空气动力学修正, 光路和气路自检,对震动不敏感,保证系统可靠性与稳定性。
l 流量稳定:采用主动采样方式,采用恒流进气风扇,选配PID流量控制功能,可支持稳定、长时间、高负压、采样;可选气泵版,外置高性能气泵模块。
l 响应快速:秒级数据更新。
l 通讯接口:RS485和UART TTL串口两种输出;选配4G、以太网
l 全自动测量:可远程控制,无线传输,数据实时上传至物联网平台。
l 电路安全:具有ESD、过压、过流、反接保护,确保电路的稳定性及可靠性。
l 安装便捷:安装结构简单,通用性高。
l 安全友好:低压供电,无电击;无放射源,无光污染。
l 采样流量:标准2.83L/min,触控屏和无屏两种版本方式可选。
l 数据单位:个/2.83L 【屏幕显示数据单位:个/28.3L】
三、性能:
◆采样流量:2.83L/min ±5% (0.1 CFM)
◆粒径分布误差;国优±20%FS
◆示值浓度误差;国优±20%FS
◆自净时间;国优≤8min
◆重复性相对误差;国优≤8%FS
◆采样浓度,35000颗/升
◆至少5,000,000条采样数据存储
四、应用:
半导体洁净厂房检测;
晶圆封装产品线监测;
光刻产线监测;
精密光学;
新能源;
航空航天;
五、技术参数:
| 序号 | 项目 | 参数 | 备注 |
| 1 | 测量输出 | 0.3~10μm共6通道粒子数 | 0.3μm、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm |
| 2 | 量程 | 4,000,000 个 /ft3 | 符合损失10%时 |
| 3 | 输入电压 | DC12V [9~25VDC] | 推荐供电电源不低于12V 2A |
| 4 | 额定功率 | 3.5W | |
| 5 | 休眠功率 | 0.6W | |
| 6 | 工作温度范围 | -20-60℃ | |
| 7 | 湿度范围 | 0-99%RH | |
| 8 | 工作大气压力 | 86KPa~110KPa | |
| 9 | 响应时间 | 1S | |
| 10 | 通讯接口 | RS-485 + UART TTL | 可定制 |
| 11 | 通讯协议 | Modbus-RTU | 可定制 |
| 12 | 计数效率 | 0.3μm/50% >0.45μm/100%(根据ISO21501) | @25℃,50%RH |
| 13 | 相对误差 | ±15% | @25℃,50%RH |
| 14 | 产品尺寸 | 173*104*63 | 不含等动力采样头 |
| 15 | 软管尺寸 | 内径:φ5mm 外径:φ8mm | |
六、etiedt奕泰净科:
苏州奕泰环境科技有限公司国产洁净环境检测仪器智能化创新应用专业前沿企业;
进口仪器国产化替代品牌新势力;
国内净化品牌服务商,净化优质服务商;
洁净微环境智能监测仪器全套解决方案专业企业
半导体洁净环境检测,奕泰净科E系列激光尘埃粒子计数器检测等级可满足十级至三十万级环境检测;
半导体洁净厂房检测;
晶圆封装产品线监测;
光刻产线监测;
精密光学;
新能源;
航空航天;

