产品概述

R&S®ZNA67 是德国罗德与施瓦茨推出的高端毫米波矢量网络分析仪（VNA），标准频率覆盖 10 MHz~67 GHz，提供 2 端口与 4 端口两种机型，接口为 1.85 mm（m）；搭配 ZNA67EXT 扩展套件可升级至 110 GHz（1.0 mm 接口），甚至通过变频器进一步延伸至太赫兹频段（最高 1.1 THz）。

产品特点

卓越射频性能

典型动态范围 139 dB，可选配置下最高达 170 dB；1 kHz 中频带宽下迹线噪声 < 0.001 dB；显示平均噪声电平（DANL）低至约 -150 dBm，相位噪声表现优异，适合极微弱信号与高隔离度器件测试。

4 个内部相位相参信号源 + 2 个独立本振（LO），支持多端口独立频率控制、精准混频器相位测量，无需额外信号源即可完成互调测试。

最多 8 个独立接收机，实现并行多通道相位观测，大幅缩短多端口 / 阵列器件的扫描时间。

丰富测量功能

内置脉冲发生器 / 调制器，支持脉冲射频、2-tone 脉冲测量，适配雷达、卫星通信等脉冲工作模式；可测放大器 AM-AM/AM-PM 非线性特性。

支持时域分析、眼图、矢量混频器、噪声系数、变频测量、频谱分析模式；提供实时测量不确定度计算与校准验证。

12 英寸触摸屏 + 双屏显示，纯触摸操作界面直观，支持多任务并行设置，快速切换测试场景。

灵活扩展与系统集成

兼容内联校准单元，支持原位校准更新；可搭配 R&S NRP 功率探头实现高精度功率测量。

接口齐全（LAN、USB、GPIB、触发 I/O、参考源 I/O），便于自动化产线集成；支持远程控制与数据批量导出。

可与 MPI 等厂商的探针台无缝集成，满足晶圆级毫米波 / 差分射频测量。