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一、产品概述
6487 是 5-1/2 位高精度皮安表 / 电压源一体机，在 6485 基础上升级精度、速度，并内置最高 505V 可编程电压源，支持源测一体（SMU） 工作模式。
核心定位：微弱电流测量、高阻 / 漏流测试、半导体 / 光电器件 I‑V 表征。
测量范围：电流 20 fA ～ 20 mA；电压源 200 μV ～ 505 V。
分辨率：电流 10 fA，电压 100 nV。
速度：最高 1000 次 / 秒 读数，支持高速扫描。
接口：标配 GPIB、RS‑232，支持 SCPI 编程与自动化。
二、产品特点
1. 极致微弱电流测量能力
10 fA 分辨率，覆盖飞安（fA）至毫安（mA）全量程，8 档自动 / 手动量程。
极低负载电压：全量程＜200 μV，最小化对被测器件（DUT）的干扰。
反馈式测量架构，噪声低、稳定性强，适合高阻 / 弱电流场景。
2. 内置 500V 高压源与源测一体
可编程电压源：±200 μV ～ ±505 V，支持电压扫描（Sweep），一键完成 I‑V 曲线。
浮动测量（Floating）：最高 500 V 隔离，适配高压 / 浮地测试。
内置阻尼功能，适配电容性器件（如电容、二极管），抑制振荡、提升稳定性。
3. 高阻与电阻率测量
支持电压源‑测电流法，直接测量 50 Ω ～ 5×10¹⁴ Ω 超高阻。
适合绝缘材料、薄膜、高阻半导体、电容器漏流等测试。
1. 半导体与光电器件
二极管、三极管、MOSFET、LED、激光器的 I‑V 特性 与漏电流测试。
太阳能电池、光电探测器、传感器的暗电流、响应度表征。
2. 材料与元器件测试
绝缘体、陶瓷、高分子材料的电阻率 / 表面电阻测量。
电容、继电器、开关、连接器的漏电流 / 绝缘电阻测试。
纳米材料、二维材料、量子器件的微弱电流与隧穿效应研究。
3. 科研与精密测量
离子束、电子束、辐射监测的束流 / 电离电流测量。
电化学、生物传感器、微流控的微弱电流检测。
光纤对准、光电耦合器件的精密电流 / 电压测试。