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一、产品概述
2614B 是四象限、双通道精密源测量单元(SMU),每通道可独立输出 / 测量电压与电流,支持直流、脉冲、扫描多种模式,提供 fA 级(飞安)微弱电流与 nV 级(纳伏) 电压测量能力,单通道最大输出 200V / 10A / 200W,适合从低功耗芯片到大功率器件的全场景表征。
通道数:2 个独立 SMU 通道
电压范围:±200V(源 / 测)
电流范围:±10A(直流)、±20A(脉冲 / 峰值)
功率:单通道 200W,双通道 400W
测量分辨率:电流 100fA,电压 100nV,6.5 位精度
通信接口:LAN、USB、GPIB、TSP-Link(多机级联)
核心技术:TSP(Test Script Processor)嵌入式测试脚本
二、产品特点
1. 四象限全能型 SMU
源测一体:单台仪器集成精密电源、电流源、6.5 位万用表、任意波形发生器、脉冲发生器、电子负载六大功能。
四象限工作:可作为源(输出功率)或负载(吸收功率),覆盖正偏、反偏、击穿、雪崩全特性测试。
宽范围覆盖:从 nV/fA 级微弱信号到 200V/10A 大功率输出,无需切换仪表。
2. 双通道独立控制
两通道完全隔离、独立设置,可同步或时序控制,支持双器件并行测试或复杂偏置(如栅压 / 漏压同步扫描)。
通道间无干扰,适合CMOS、三极管、光耦、二极管阵列等多端器件测试。
3. 高速脉冲与低噪声
脉冲模式:最小脉宽 100μs,峰值电流 20A,降低自热效应,适合大功率器件、易损半导体、LED 可靠性测试。
超低噪声:fA 级电流测量无漂移,nV 级电压稳定,适配传感器、光电二极管、单电子器件等微弱信号场景。
高吞吐:TSP 嵌入式处理器,PC 指令通信速度提升 190%,测试序列本地执行,减少延迟。
1. 半导体器件测试
晶圆 / 芯片:MOSFET、IGBT、BJT、二极管、晶闸管 IV 特性、击穿电压(Vbr)、漏电流(Ileak)、栅极电荷(Qg)测试。
功率器件:SiC/GaN 宽禁带器件、功率二极管、模块的高压、大电流、脉冲可靠性验证。
射频 / 模拟 IC:低噪声放大器、稳压器、开关的静态参数、功耗、漏电流表征。
2. 光电器件与显示
LED/OLED:正向电压、亮度电流、效率、寿命、热特性测试。
光电二极管 / APD:暗电流、光电流、响应度、量子效率测量。
激光器 / VCSEL:阈值电流、斜效率、P-I-V 特性、老化测试。
显示面板:TFT、OLED 像素、背光驱动的漏电、导通电阻、功耗测试。
3. 传感器与无源器件
MEMS / 压力 / 气体传感器:微弱电流 / 电压响应、灵敏度、温漂、可靠性测试。
电阻 / 电容 / 电感:高精度阻值、容值、阻抗、温度系数(TCR)测量。
电池 / 超级电容:充放电曲线、内阻、容量、循环寿命、自放电测试。
