小型蒸镀仪

一：产品参数

1 ．产品名称：小型蒸镀仪

2 ．产品型号：KT-Z1650CVD

3 ．产品品牌：郑科探   Zhengketan

4 ．生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

二：功能要求

KT-Z1650CVD 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽 小功能齐全。配备 7 寸触摸屏人工界面，具有电流时间工艺储存功 能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及自动电动 样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金 属（金，银，铜，铬，镍等）和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔 室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

三：主要技术要求

1． 控制方式：7 寸人机界面 晶控（需配膜厚仪）/自动控制模式切换

2． 加热方式：数字式功率调整器

3． 镀膜功能：0-999 秒可变换功率及挡板位和样品速度程序

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郑州科探仪器设备有限公司

4． 最大功率：≤1200W

5． 最大输出电压电流：电压≤12V   电流≤120A

6． 真空度：程序电控 自动匹配设置的真空度 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa

7． 挡板类型：电控

8． 真空腔室：铝合金腔室φ160mmx 160mm

9． 样品台：可旋转φ75    （最大可安装φ70 基底）

10． 样品台转速：8 转/分钟

11． 样品蒸发源调节距离：40-70mm

12． 蒸发温度调节：≤1800℃

13． 支持蒸发坩埚类型：   钨丝蓝   带坩埚钨丝蓝    钨舟   碳绳

陶瓷坩埚     石英石坩埚

14． 预留真空接口：KF25 抽气口   KF16 真空计接口    放

气口  

四：标配

1.1台小型蒸镀仪KT-Z1650CVD

  2.  电源线

  3.  合格证 说明书 保修卡

五：可选配扩展

1.机械真空泵抽速8m³/h≤5Pa(5分钟）

2.分子泵机组（可抽真空20分钟≤5*10^-3Pa）

  3.膜厚仪:(厚度范围0-999.9A 厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨率0.1A 晶振频率5-6MHz

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