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特点
- 超低噪声(6430为 0.4fA p-p，6517B 和 6514<1fA)
- 高达 10^16Ω 的电阻测量(6517B)
- 远程预放大器可以位于信号源(6430)
- 低输入端压降
- 内置 ±1kV 电压源，提供扫描功能(6517B)
- 适用于测量试样材料的体积和表面电阻的选配 8009 型电阻率测试盒(6517B)
- 即使在低电平信号上也能实现高测量速度
- 可编程数字 I/O 和内置接口
从三个敏感选项中选择，实现精确的高阻抗和低电流测量。5½ 位 6514 型和 6517B 型静电计提供 1fA 灵敏度，输入阻抗 >200TΩ 的电压测量，以及低至 10fC 的电荷测量。6½ 位 6430 型亚 fA 远程 SourceMeter SMU 仪器能够以 1aA 的灵敏度测量电流。其噪声低、偏差小，非常适用于研究单电子器件、高电阻纳米线和纳米管、聚合物以及电化学应用。
半导体工业与研发；漏电流测量；表面态密度测量；高阻材料电阻率测量；离子注入剂量监测；缘体/半导体电阻率测量；薄膜电导率测量；表面漏电研究；物理与化学研究：表面科学；电化学研究；真空物理；光电效应研究；电池与能源研究；电池漏电流测量；燃料电池性能表征；生物医学研究；细胞膜电流测量；生物传感器校准；标准电阻校准；电荷放大器测试。