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一：产品参数
1． 产品名称：等离子清洗机
2． 产品型号：KT-S2DQX
3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan
4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
KT-S2DQX 等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2L.采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别使用科实验样品清洗和教学。
三：主要技术要求
| 1：供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
| 2：工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
| 3：射频电源功率 | 150W |
| 4：清洗功率 | 13.56MHz |
| 5: 特性阻抗 | 50欧姆，自动匹配 |
| 6：耦合方式 | 电容耦合 |
| 7：真空度 | ≤50Pa |
| 8：腔体材质 | 高纯石英 |
| 9：腔体容积 | 2.2L(内径Ф110mmx深度240mm) |
| 10：观察窗内径 | Φ45 |
| 11：气体流量 | 0—50ml/min（其他量程可选） |
| 12：过程控制 | 自动控制 |
| 13：清洗时间 | 手动开关 |
| 14：开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
| 15：外形尺寸 | 410x460x350mm |
| 16：真空室温度 | 小于65°C |
| 17：冷却方式 | 强制风冷 |
四：主要配置要求
1· 等离子清洗机 KT-S2DQX 壹台
2. KF16真空管1米
3. 不锈钢网匣一个
4. KF16卡箍2个
5. 机械泵一台
6. 电源线1根
7. 说明书 1本