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一、产品概述
核心定位:双通道精密源 / 测量单元(SMU),一站式完成电压 / 电流源出与高精度测量,主打 I‑V 特性测试与器件表征
核心参数:
通道:2 独立通道,可同步 / 异步工作
源 / 测范围:±210V、±3A(DC)、±10.5A(脉冲),单通道最大功率31.8W是德科技
分辨率:源 1pA/1μV、测 100fA/100nV
采样:20μs 间隔(50kSa/s),最大缓存10 万点 / 通道
功能:4 象限源测、任意波形(AWG)、扫描 / 脉冲 / 列表模式、四线 Kelvin 测量
接口:USB 2.0、LAN(LXI)、GPIB、数字 I/O
显示:4.3 英寸彩色 LCD,支持单 / 双 / 图形 / 滚动视图
状态:已停产,替代型号为B2902B
二、产品特点
1. 宽范围 + 高精度 + 四象限一体化
4 象限工作:可源可吸,覆盖正 / 负电压电流,适配二极管、MOSFET、电池等全类型器件
高压大电流 + 飞安级分辨率:兼顾功率器件(210V/3A)与微弱信号(100fA)测试,单台覆盖多场景
四线 Kelvin 测量:消除引线电阻误差,精准测低阻与大电流
高容模式:支持最大50μF容性负载,避免振荡,适配电容、电池等测试
2. 高速动态与灵活波形能力
高速采样:20μs 间隔(50kSa/s),捕捉瞬态与动态响应
任意波形(AWG):支持 10 万步自定义波形,适配复杂激励测试
多扫描模式:线性 / 对数、单 / 双扫描、直流 / 脉冲扫描,最小脉宽5μs,减少器件自热
列表模式:按序列输出多组电压 / 电流,适配批量参数测试
3. 易用与自动化设计
直观 GUI:4.3 英寸彩屏,一键生成 I‑V 曲线,本地操作高效
多控制方式:面板 + Web 界面 + BenchVue+Quick IV+EasyEXPERT 软件,支持远程与自动化
SCPI 兼容:兼容传统 SMU 指令(如吉时利 2400 系列),降低代码迁移成本
安全保护:电压 / 电流限幅(Compliance)、互锁(>42V 需激活),保护 DUT 与设备
1. 半导体器件测试(核心场景)
分立器件:二极管、LED、激光二极管、BJT、MOSFET、IGBT、晶闸管的 I‑V、击穿电压、漏电流、导通电阻测试
集成电路:模拟 IC、RFIC、MMIC、低功耗芯片的静态 / 动态参数表征
纳米 / 新材料:碳纳米管、有机半导体、二维材料的微弱电流与伏安特性测试
失效分析:定位漏电、短路、击穿等失效模式
2. 传感器与光电探测
光电二极管、APD、PMT:微弱光电流放大与 I‑V 测试
MEMS、压力 / 温度 / 霍尔传感器:低功耗与微弱信号测量
生物 / 电化学传感器:微电流与离子通道检测
3. 新能源与功率电子
光伏电池:暗电流、光电流、IV 曲线、转换效率测试
电池 / 超级电容:充放电特性、内阻、容量评估
功率模块:IGBT、功率二极管的静态与脉冲特性验证
