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一：产品参数
产品名称：等离子清洗机
产品型号：KT-Z5KQX
产品品牌：郑科探 Zhengketan
生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
40KHz等离子清洗机的工作频率为40千赫（40,000赫兹），该清洗机内置高纯石英仓体容积为5升，采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学样品清洗 教学和实验等。
三：主要技术要求
| 1：供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
| 2：工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
| 3：等离子电源功率 | 300W可调 |
| 4：耦合方式 | 电容耦合 |
| 5: 电源频率 | 40K |
| 6：真空度 | ≤50Pa |
| 7：腔体容积 | 5L（内径152mm深度280mm） |
| 8：载物规格 | 125mm*260mm |
| 9：观察窗内径 | Ф50 |
| 10：气体流量 | 0-50ml/min(其它量程可选） |
| 11：气体路数 | 2路质量流量计+精密流量控制阀 |
| 12：过程控制 | 自动控制 |
| 13：清洗时间 | 手动开关 |
| 14：开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
| 15：外形尺寸 | 450x450x250mm |
| 16：真空室温度 | 小于65°C |
| 17：冷却方式 | 强制风冷 |
四：主要配置要求
1．等离子清洗机 壹台
2. 电源线1根
3. 合格证 说明书 保修卡各1个