一：产品参数

1．产品名称：真空探针台

2．产品型号：KT-0904T-R/RL

3．产品品牌：郑科探  Zhengketan

4．生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

二：功能要求

 探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

  该探针台的承载台为28X28mm不锈钢台面，台面可升温到-190~400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-12mm,y方向调节范围：0-12mm；z方向调节范围：0-12mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测

三：主要技术要求

1．类型：高低温型：-190~400℃  （高温型：室温～400℃选配）

2．腔体材质：304不锈钢

3．腔体内尺寸：φ90x40mm

4．腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）

5．腔体抽气口：KF16

6．腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

7．腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

8．腔体正压：≤0.05MPa

9．腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

10．样品台材质：304不锈钢

11．样品台尺寸：28X28mm

12．样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）

13．样品台测温传感器：A级PT100铂电阻

14．样品台温度：室温到-190~400℃（可选高温样品台 高温400℃）

15．样品台测温误差：±0.5℃

16．样品台变温速率：高温20℃/min    低温20℃/min  最大值

17．温度显示：7寸人机界面

18．温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）

19．温度分辨率：0.1℃

20．温控精度：±0.5℃

21．温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K  S  B型热电偶）

22．温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）

23．辅助功能：温度数据采集并导出  实时温度曲线+历史温度曲线

24.电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤200V  电流噪声 ≤10pA

25．探针数量：4探针（可定做6探针）

26．探针材质：镀金钨针

27．探针尖：10μm/50μm

28．X轴移动行程：12mm    ±6mm

29．X轴控制精度：≤5μm

30．Y轴移动行程：12mm    ±6mm

31．Y轴控制精度：≤5μm

32．Z轴移动行程：12mm    ±6mm

33．Z轴控制精度：≤5μm

四：主要配置要求

1．1台 · KT-0904T-RL微型探针台一台

2．1台 · 触摸屏温控箱

3.  1根  电源线

4： 1根  触摸屏笔

5： 1根  功率输出线

6：1套  K型上盖扳手、备用螺丝，内六角

选配: 分子泵真空机组  机械泵 CCD相机 真空计 源表 气浮台