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HP 4142B(后由安捷伦/Keysight 继承)是已停产的模块化直流源/监视器系统,专为高吞吐量半导体直流参数测试设计,采用8槽机箱支持多种插件模块,不作为独立台式仪器销售。
参数详情
架构:8槽主机(4142B),支持热插拔插件模块,包括 SMU(源/监视单元,±200 V / ±1 A)、HCU(高电流单元,±10 A)、HVU(高电压单元,±1000 V)、VS/VMU(电压源/电压监视) 和 AFU(模拟反馈单元);无固定“4142B模块”这一单品,需搭配具体插件使用。
接口:标配 HP-IB(IEEE-488),支持编程控制(SCPI 前身命令集),可集成到自动测试系统(ATE)。
性能:典型电压分辨率 100 µV,电流分辨率 10 fA(视插件而定),支持四象限源/测,适合精密DC特性分析。
半导体器件参数测试(如晶体管Vth、Ioff、击穿电压)
晶圆级DC测量
高吞吐量生产测试系统
材料电阻/漏电流表征
