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该产品为双频氦氖激光光源，归属是德科技前身安捷伦产品线，专为激光干涉仪测量系统配套使用，依靠塞曼分裂产生两路频差激光，波长稳定性极强，可输出高精度参考光信号，适配高速运动位移检测场景，常搭配 5501A、5527A 干涉仪系统搭建精密定位测量方案，整机风冷结构，运行寿命长、抗环境干扰能力强，是高端工业与半导体精密测控核心光源组件。
参数详情
标称真空波长：632.991354nm
波长精度：标准 ±0.1ppm，定制校准可达 ±0.02ppm
波长稳定性：一小时稳定性 2ppb，长期寿命稳定性 20ppb
参考频差范围：3.4MHz~4.0MHz
光束直径：标配 6mm，可选 9mm 规格
输出光功率：最小 180μW，最大功率 1mW，高功率选件可达 300μW
光束中心高度：79.5±1.0mm
最大测量线速度：1m/s（搭配对应接收器）
整机预热时长：90 分钟
供电需求：+15V 最大 3A、-15V 最大 0.3A
半导体光刻设备：光刻机工作台多轴位移闭环定位、晶圆高精度对位检测
面板显示行业：液晶、OLED 面板产线平台高速位移精度校验、行程校准
数控机床校准：机床三轴定位精度、直线度、垂直度、螺距误差检测校正
精密计量实验室：长度基准标定、微小位移、形变干涉测量实验
PCB 高端制程：高精度钻孔、曝光平台位置实时反馈控制
光学科研测试：干涉原理实验、长距离相干光路搭建、光学基准光源使用