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这款设备为爱德万推出的高精度无损时域反射分析仪，依托飞秒激光异步采样技术实现微米级线路缺陷定位，无需破坏待测样品就能排查开路短路高阻抗问题。整机可搭配各类探针台，支持晶圆、芯片、封装基板与 PCB 检测，可选温控组件完成高低温测试，配套软件可对接芯片设计版图锁定故障位置，检测速度快、数据重复性高，适配先进封装研发与失效分析，减少贵重样品损耗。
参数详情
故障定位分辨率：短时域≤5μm，长时域≤10μm
脉冲上升时间：＜12ps
最大测量长度：100mm
脉冲抖动：＜30fs
主机功率：250VA
工作温湿度：10℃~30℃，湿度 80% 以下无凝露
2.5D/3D IC、TSV 硅通孔线路失效定位
微凸点、FCBGA、晶圆级封装缺陷检测
封装基板、PCB 盲埋孔线路故障分析
温循、冷热冲击可靠性试验后故障排查
芯片菊花链结构工艺验证与失效分析